Industrija poluvodiča zahtijeva iznimno visoku čistoću, otpornost na koroziju i stabilnost od sastavnih materijala, a keramičke strukturne komponente savršeno ispunjavaju te zahtjeve, što ih čini ključnom komponentom poluvodičke opreme.
Tijekom proizvodnje pločica, unutarnje okruženje opreme često je izloženo visokim temperaturama, visokom vakuumu i jakoj koroziji. Tradicionalni metalni materijali lako korodiraju ili otpuštaju nečistoće, dok keramičke strukturne komponente posjeduju izvrsnu kemijsku stabilnost i niske karakteristike rasipanja čestica, učinkovito osiguravajući čisto proizvodno okruženje.
Uobičajeni poluvodički keramički dijelovi uključuju keramičke stezne glave, keramičke grijače, izolacijske prstene, mlaznice i komponente vodilica. Među njima, elektrostatske stezne glave koriste izvrsna izolacijska svojstva keramičkih materijala za pričvršćivanje pločica i jedna su od ključnih komponenti poluvodičke opreme.
Kako procesi proizvodnje čipova napreduju na više razine, zahtjevi za preciznošću opreme postaju sve stroži. Napredni keramički materijali, sa svojom dimenzijskom stabilnošću i otpornošću na plazma koroziju, igrat će još važniju ulogu u budućoj industriji poluvodiča.